真空滅弧室是真空開關的關鍵部件，它是采用玻璃或陶瓷作支撐及密封，內部有動、靜觸頭和屏蔽罩，室內有負壓，真空度10-4～10-6Pa，保證其開斷時的滅弧性能和絕緣水平。隨著真空滅弧室使用時間的增長和開斷次數的增多，以及受外界因素的作用，其真空度逐步下降，其開斷性能也隨之降低，當真空度低于1.3 ×10-2Pa時，將導致開斷和關合能力的不穩定。因此應注意下列幾點：

　　1、真空滅弧室出廠時的真空度應不低于1.3×10-5Pa。

　　2、出廠前真空開關應經過嚴格的平行度檢查和裝配，維修時應緊固滅弧室的各螺栓，以保證其受力均勻。

　　3、保證導電桿同心度的調整。新一代高壓真空開關普遍使用縱向磁場滅弧原理和銅鉻觸頭材料，以減少觸頭燒損和提高電氣使用壽命。所以如果導電桿同心度調整不當，將使縱向氣線、陶瓷、可伐——金屬封接強度不夠穩定，致使真空滅弧室漏氣。

　　4、不得用任何外力碰撞真空滅弧室，嚴禁敲擊、手拍打，搬動及維護時不得受力。禁止把任何東西放在真空開關上，以防止落下時打壞真空滅弧室。

　　5、裝調時如果發現螺紋配合不良，應查原因后再處理，不要用很大力氣去擰動真空滅弧室，防止波紋管受到損傷。

　　6、嚴格控制觸頭行程。不能誤以為開距大對滅弧有利，而隨意增加真空開關的觸頭行程。因為真空開關的行程比較短。一般額定電壓為10～15kV的真空開關觸頭行程僅為8～12mm，觸頭超行程僅為2～3mm。如果過多地增加觸頭的行程，會使開關合閘后，在波紋管上產生過大的應力，引起波紋管損壞，破壞開關密封外殼內的真空。

　　7、調試觸頭開距時，應控制波紋管的壓縮量，防止波紋管發生塑性變形，分閘緩沖器的回彈不應過大，過大會影響波紋管的壽命。

　　8、合理的選擇使用和儲存環境，真空滅弧室的存放和使用環境中應無化學腐蝕性氣體存在。真空滅弧室的波紋管絕大多數都是采用0.15mm厚度的不銹鋼油壓成型的。高壓真空開關應用環境的污穢等級、濕度、鹽霧等選擇不夠合適，有害氣體、凝露造成波紋管點狀腐蝕，導致波紋管和蓋板及封接面的漏氣。

　　9、定期進行42kV采工頻耐壓試驗。新裝后和運行中應結合驗收和季節或年度性預防性試驗對真空滅弧室斷口進行工頻耐壓試驗以檢驗其真空度。而當真空開關停運、儲運達20年后，應檢查其真空度，達不到要求應予以更換。

　　10、定期巡視。特別對玻璃外殼真空滅弧室，當內部部件表面顏色變暗或開斷電流時弧光為暗紅色時，可以初步判斷真空已嚴重下降，應馬上進行停電檢測。

　　11、監控觸頭磨損值，當動靜觸頭的總磨損量達到制造廠規定值時應更換真空滅弧室。真空滅弧室的觸頭接觸面在經過多次開斷電流后會逐漸磨損，觸頭行程增大，也就相當波紋管的工作行程增大，因而波紋管的壽命會迅速下降，通常允許觸頭磨損最大值為3mm左右。為了能夠準確地控制每個真空滅弧室觸頭的磨損值，必須從滅弧室開始安裝使用時起，每次預防性試驗或維護時，就準確地測量開距和超程并進行比較，當觸頭磨損后累計減小值就是觸頭累計磨損值。當累計磨損值達到或超過此值，真空滅弧室的開斷性能和導電性能都會下降，真空滅弧室的使用壽命即已到期。